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紫外激光切割機(jī)（通常是指采用紫外納秒激光器集成的激光設(shè)備）稱之為冷激光微精密加工系統(tǒng)。其工作原理是通過355nm激光波長激光照射到材料表面，破壞材料的分子間形成切割、刻蝕、打標(biāo)等。常用于微精密激光加工系統(tǒng)中，如PCB激光切割、分板，FPC激光切割，攝像頭模組激光切割，指紋識(shí)別芯片激光切割，硅片激光切割，陶瓷激光切割，超薄金屬材料激光切割，PET/PI薄膜激光切割等。

超薄銅箔激光切割樣例

紫外激光微精密加工系統(tǒng)的優(yōu)勢在于熱影響區(qū)域小，光斑小，光束質(zhì)量高，加工質(zhì)量高、精度高，根據(jù)其配置不同，其精度差異化非常大。本文列舉核心配件對于紫外激光精密微加工系統(tǒng)的精度影響：

激光器：激光器是紫外精密微加工系統(tǒng)中最核心器件，直接影響著激光加工的精度，光般大小、光束質(zhì)量、重復(fù)頻率、光斑圓度、脈沖寬度直接影響著激光輸出的精度，每種激光器的功率參數(shù)不同，且每個(gè)公司的參考參數(shù)都不同，對應(yīng)的精度差異大。作為切割機(jī)而言，相比較來說一般采用的是7W以上的大功率紫外激光器，而在這方面恰恰是國內(nèi)激光器廠家比較薄弱之處。目前比較優(yōu)質(zhì)的紫外激光器（都是進(jìn)口）美國光譜物理、德國通快、美國相干、美國普愛、美國光波等。

振鏡：振鏡為激光器外光路系統(tǒng)中的重要核心器件，振鏡好壞體現(xiàn)在速度、光斑圓度、光斑偏轉(zhuǎn)精度等因素，同樣作為紫外激光切割機(jī)而言，幾乎90%的振鏡源于進(jìn)口，這類的典型廠商有德國SCANLAB、德國RAYLASE、美國CTI等。國產(chǎn)振鏡跟激光器一樣還有很大的差距。

場鏡：場鏡也稱為透鏡，場鏡的掃描范圍直接影響的是光斑的精度，光板的大小決定了在加工材料過程中的熱影響區(qū)域，比方說在玻璃鍍層上刻蝕，單次劃線的精度從5-20微米不等，其主要因素決定于場鏡的大小，通常情況下作為切割用的透鏡范圍在30-40mm之間，而想要在玻璃鍍層上更小的線寬，則需要6-15mm的透鏡。透鏡越小，光斑越小，對應(yīng)能做到的熱影響更小，精度更高。小的透鏡價(jià)格非常高，幾乎也都是進(jìn)口，主要供應(yīng)商有SILL、業(yè)納等。

直線電機(jī)：直線電機(jī)影響的是拼接精度，一般加工的材料最大幅面都會(huì)比透鏡的掃描范圍要大，因此都會(huì)采用相機(jī)識(shí)別，通過直線電機(jī)移動(dòng)拼接，好的直線電機(jī)拼接精度可以做到1μm。對于一些沒有拼接精度要求，只是需要光斑精度的材料可以考慮采用伺服電機(jī)，能夠節(jié)省很大一部分成本費(fèi)用。

軟件控制系統(tǒng)：軟件控制系統(tǒng)影響著整機(jī)的重復(fù)精度，需要通過軟件控制不停的校正來保證整機(jī)精度。每個(gè)公司都有自己定制的軟件控制系統(tǒng)，差異化不大，各有個(gè)的特點(diǎn)，相比較而言，軟件往往也是容易讓人忽視的一部分。

其他也有一部分因素影響著加工的精度，如使用環(huán)境的其他外在因素，設(shè)備本身影響加工精度的幾大因素也均為幾個(gè)核心器件，因而通常情況下采用的核心器件幾乎均是進(jìn)口，這也是為何每個(gè)廠家的價(jià)格差異化的主要原因。

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